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      上海飛魯真空泵廠有限公司
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      電離升華泵

      電離升華泵又稱軌旋式離子泵。它結構簡單、體積小,重量輕,造價低,制造方便。它既有鈦升華泵的特點,能使鈦加熱到

      1200℃而升華,來抽除活性氣體,又有濺射離子泵的特點,對惰性氣體電離抽氣,且不用磁場而獲得高效率抽氣作用。其有效工

      作范圍寬,大約在10-2~10-9Pa,在高超區域內保持恒定的抽速。

      這種泵的缺點是電離抽氣與鈦損耗之間有矛盾,欲提高惰性氣體的抽速,勢必加高陽極電壓,提高發射電流,因此鈦的損耗增大

      ,泵的壽命縮短;欲增加儲鈦量延長泵的壽命,陽極要變粗,電子的軌道變短,電離抽速下降。這種泵的直徑越大,所需陽極電

      壓越高,上萬伏的電壓對生產不安全,電子轟擊陽極會產生有害于人體的X射線,不適于做大泵。

      電離升華泵的原理是電子從燈絲發射出來,由于燈絲附近的屏蔽作用,使電子在離開燈絲時具有足夠大的角動量,這樣電子就不

      會即打在陽極上,而進入到由陽極(加正高壓)和陰極(接地)建立起來的對稱對數靜電場中,連續作軌道旋轉運動,具有很長

      的平均自由程。在電子作軌道旋轉過程中氣體被電力,電子業損失了能量,軌道逐漸縮小,最后撞擊到陽極鈦住上,使鈦升華。

      升華的鈦碰到冷卻的泵殼上,形成新鮮的鈦膜,像鈦升華泵一樣使活性氣體被抽除。同時電子在飛行中對惰性氣體電離,正離子

      飛向陰極,像濺射離子泵一樣,達到抽除惰性氣體的作用。如果鈦的升華率足夠高,粘著幾率接近于1,那么,對于活性氣體的抽

      速主要受泵口流導的限制。


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