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      上海飛魯真空泵廠有限公司
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      真空泵的極限壓力與測量誤差


      對于真空泵,從理論上說,極限壓力是愈低愈好,但從實用上來說,應該保證泵在所使用的工作壓力范圍內有較大的抽速和運轉的可靠性,這一點是最重要的。

      日本的ULVAC、神港精機、大阪真空等生產的中型滑閥泵的標稱極限壓力均為6.7X10-1Pa。美國STOKES,KINNEY和英國BOC EDWARDS公司的中型滑閥泵的標稱極限壓力都是1.3Pa,特性曲線上的極限壓力則是6.7X10-1Pa。即使是英國GENERAL公司的GKT300C,它的極限壓力己達到2.67X10-1Pa,但它的標稱極限壓力仍然是1.3Pa。為什么國外主要滑閥泵生產廠把極限壓力的指標定得這么寬?

      對上述問題我們認為,滑閥泵相對于旋片泵而言,它的各部分間隙較大,因此有利于抽除含有一定粉塵的氣體,國內外有關資料也都有類似說法。用戶在選擇泵的工作壓力范圍時,必然選在滿抽速或接近滿抽速的區域內。而單級滑閥泵最佳工作區間是10~105Pa,因此極限分壓的有限降低對泵在工作壓力范圍內的抽速并沒有多大影響。如果過分追求極限壓力的降低,勢必要減少各轉動部件之間的間隙和進油量,而許多場合下滑閥泵所抽除的氣體中都含有一定數量的粉塵,不良的潤滑和過小的間隙必然會導致轉動部件之間磨損的增加,對運轉的可靠性也會有一定影響。這也就能解釋國內外滑閥泵生產廠一般都不片面追求單級滑閥泵的極限壓力,而特別重視泵的運轉可靠性。

      國外各滑閥泵生產廠生產的滑閥泵的極限壓力數據當然是用他們各自的壓縮式真空計測得的.不同的壓縮計的測量精度是不可能相同的。即使是我們國內,共至是我們自己的企業內,標準壓縮計之間的測量精度也并不一致,有時還相差較大。國家真空設備質量監督檢驗中心對此也早有察覺,并在1998年作了一次調研。他們將一臺2XZ-2型旋片泵依次由質檢中心發往三個單位,進行“真空測量設備的比對試驗”,結論是四個單位的測量數據都不同,我公司與質檢中心基本一致。因此壓縮計的測量精度是一個非常重要的問題,不能簡單認為標定為5%精度的壓縮計就有5%的測量精度,它與壓縮計的清洗清潔度,水銀清潔度和純度有很大關系,還很可能與壓縮計的毛細管與其它部分的連接處的錐度和光滑程度有關;谏鲜銮闆r,我們就不能把自己的測試數據簡單地與其他生產廠和國外廠商的數據作對比。如要作性能對比,也必須把自己的泵與其他廠和國外的泵用同一儀器測量,這樣才能有確切可靠的評價。

      H-150滑閥泵的研制中,我們首先在保證運轉可靠的前提下,嚴格控制加工精度,主要轉動部件間的間隙仍處于原先H-150泵的經過幾十年考驗的正常范圍內,只是控制更嚴。同時改進油路結構,使之更合理,以保證各運動部件之間的潤滑更可靠。目前H-150泵的極限壓力己完全能保證在0.3Pa以下。為了保證測試數據可靠性,我們將H-150泵與國外樣機在同樣測試條件下,用同一壓縮真空計測試,其極限壓力數據優于國外樣機,再對照國外同類泵的數據,因此我們完全可以說,H-150E泵的極限壓力指標己達到國外同類泵的先進水平。當然這樣的說法也必須要對國外滑閥泵水平有一定的了解。有一點必須指出,我們對國外水平的了解也僅僅是從樣本和網上查來的,即使測了一些國外樣機,也不一定能代表國外最高的水平,要完整收集國外同類產品的真正質量水平是很困難的。

      我們認為對用戶而言,真正有用的是全壓,因此研究如何降低泵的極限全壓,有很重要的意義。過去一般認為,我國滑閥泵和旋片泵的全壓指標與國外相比差距較大。但經我們研究認為,問題在油而不在泵,主要是真空泵油質量不高,而影響了泵的極限全壓。我國目前按SH0528-92標準生產的優級品真空泵油的質量已接近國外水平,使用優質低飽和蒸汽壓的N100真空泵油.H-150泵的極限全壓可優于1.5Pa。



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