當機組開始運行時,首先開啟真空泵,并打開閥門給真空泵供工作液。真空泵開始對被抽容器抽氣。由脫水元件帶來的汽水混合物(汽水混合物必須通過性能良好的汽水分離器,以除去挾帶的水分,防止外來液體對系統內工作液的污染)或由被抽容器來的氣體及蒸汽進入真空泵并由循環工作液由真空泵排入臥式汽水分離器。在汽水分離器內,汽水得到分離,汽體通過排汽口排出,液體則留在汽水分離器內,經冷凝器冷凝后繼續作為真空泵的工作液參與運行。
由于真空泵抽吸來的水不能進入真空機組,而工作液為軟化水或其他工作液,所以有效地防止了真空泵的結垢,在不增加功率的情況下,維持真空泵的持續高效運行。
閉式循環機組與單臺真空泵相比,只是增加了臥式汽水分離器,冷凝器及一些儀表、閥門等附屬設備,所以投資比較低。比采用冷卻塔成本要低得多(圖2是冷卻塔閉式循環接法)。而且冷卻水經過冷卻器后,水的溫度升高,如果其他地方使用熱水,還可以節約水源。