渦輪分子泵是一種高速旋轉的機械泵，動葉片的線速度很高，轉子的轉速一般為200~1200s-1.這樣的轉子會因為平衡不好而引起

振動，使軸承很快磨損，渦輪分子泵的壽命也會因此縮短，所以渦輪分子泵動平衡的好壞是發展渦輪分子泵的關鍵所在。此外，

渦輪分子泵對異物進入特別敏感，通常在泵的入口處設置金屬過濾網。

為了徹底杜絕油蒸汽對渦輪分子泵的污染和進一步提高渦輪分子泵的性能，近些年來，又出現利用空氣軸承和磁懸浮軸承的新型

渦輪分子泵。這樣一來，渦輪分子泵作為清潔的超高真空泵就更加完善了。目前渦輪分子泵，經過烘烤去氣可以獲得極高真空。

我國在分子泵的研究和生產方面進展很快，在60年代研制成功的臥式渦輪分子泵的基礎上，很快發展了銑制和扭制葉片的兩種立

式渦輪分子泵系列產品，并有抽速110、150、450、550、600、1200、1500和3500L/s等多種規格。并將磁懸浮式軸承用于渦輪

分子泵。

近10年來，由于軸承和高速旋轉以及數控加工技術的不斷發展，國際上渦輪分子泵的研制也取得了長足的進步，抽速從50L/S已發

展到25000L/S（日本）甚至達到40000L/S（俄羅斯）。

渦輪分子泵的壓縮比與渦輪葉片的級數有關。提高泵的壓縮比要增加葉片的級數。而牽引分子泵的壓縮牽引分子泵比與抽氣槽的

形狀有關。提高壓縮比很容易，在尺寸相同情況下，牽引分子泵的抽速比渦輪分子泵的抽速低很多。因而，利用這兩種泵各自的

特點，1972年出現了一種高抽速高壓縮比的渦輪---牽引復合式分子泵。這種復合式分子泵利用空氣靜壓軸承和氣動馬達，可以做

到完全無油。采用一種無摩擦的螺旋動密封，不用前級泵便可直接向大氣中排氣。

渦輪分子泵的結構不斷改善，用途越來越廣。在某些應用領域已有代替油擴散泵的趨勢。

目前磁懸浮式渦輪分子泵和寬領域型復合分子泵也早已達到實用化程度，使渦輪分子泵向高流量、高出口壓力方向發展，使分子

泵不僅在極高和超高真空范圍內應用，還可用于高真空和中真空范圍�，F已成為清潔真空的重要獲得手段，應用領域在不斷擴大

。的情況下，