①機械增壓泵（羅茨真空泵）由于轉子部件之間以及轉子與泵殼之間都留有一定間隙，所以轉子與泵腔、轉子與轉子之間沒有摩擦，不需要進行油潤滑，也就不會有過多的油蒸氣污染真空系統。

②體積小，質量輕，結構緊湊,可高速旋轉(1000～3000r／min)，抽速大(可達40000L／S)。

③在高真空情況下，抽氣能力仍很強；在很寬的壓強范圍內[10～10-2Torr(1Torr=133.32Pa)]，都具有很大的抽速。

④泵的工作平穩，有效容積大；由于其本身沒有能力將真空度為1Torr(1Torr=133.32Pa)的氣體排至壓力為1個大氣壓的大氣中(壓縮比僅為10左右)，故需要有輔助泵。