羅茨真空泵，簡稱羅茨泵，由于它在真空系統中起增加壓強的作用，故又稱機械增壓泵。它的結構和工作原理與羅茨鼓風機十分相似，主要由泵殼，轉子和傳動齒輪等組成。轉子呈8字形，有兩個:一個為主動轉子;另一個是從動轉子。電動機帶動主動轉子，主動轉子通過一對齒數相等的同步齒輪帶動從動轉子。兩個轉子工作時在泵腔內作方向相反的等速旋轉，因而能夠周期地把氣體自吸入口送到排氣口，再由前級油封機械泵把氣體排到大氣中去。

羅茨泵的轉子與泵腔、轉子與轉子之間有一定的間隙，約為0.2mm，因此，不需油潤滑可以高速轉動。但是，在低真空下，氣體分子平均自由程小，會有大量氣體通過間隙返流到被抽容器中去，降低了泵的效果。若在較高真空狀態，氣體分子平均自由程增大而間隙處的流導減少，氣體返流少，可獲得較高的真空度。為此，羅茨真空泵必須配置前級真空泵。

羅茨真空泵的極限真空為0.0665Pa，在13.3kPa~0.01Pa內具有穩定的抽氣性能，它的轉速高，振動少，容積大，維護費用低，缺點是制造精度高。羅茨真空泵已廣泛應用于冶金、化工、食品、醫療、電機制造等工業的脫氣、蒸餾、蒸發和干燥等生產過程。