在六十年代以前,人們把極大的注意力放在改善高真空泵的抽氣性能方面,而對于真空系統基礎設備之一的旋片式真空泵,卻沒有給予相應的重視。雖然在五十年代里,旋片泵已經發展到了成熟階段,泵的極限分壓強達到1·10-4~1·10-5乇(美、英、德、瑞士)。
但是,隨著電子工業、高能物理、空間科學和表面研究的發展,旋片泵的缺陷也日益明顯。直到六十年代開始,人們才把注意力轉到這個領域里來,作了大量的工作。當七十年代到來的時候,成果相繼出現。
觀察旋片泵的歷史和現狀時,可以發現下面幾個動向:
1.小型化、儀器化;
2.提高低壓強下的抽氣效率;
3.消除油蒸汽的返流。