16~17世紀的真空汞實際上就是抽氣唧筒，和抽水機的原理是一樣的。由于真空的研究在當時還看不出有很大的實際意義，所以往往只是在宮廷貴族中作為一種娛樂才用到真空。真空的研究直到19世紀中葉才有新的進展。1855年德國有一位玻璃技師蓋斯勒為了研究低壓氣體的導電性質.做成了汞泵。這一發明大大推進了氣體放電現象的研究。蓋斯勒泵的原理很簡單。由于汞和玻璃的嚴密接觸，這種真空泵比皮革活塞做成的抽氣卿筒優越得多，可以達到更高的真空度。只是提拉汞槽十分費勁，需要花費大量勞動，才能奏效。

后來又有兩種改進的汞泵問世。一種叫托普勒泵，一種叫斯普倫格泵。托普勒泵發明于1862年，總高2.1~2.5米，也是靠汞升降，把容器中的空氣引出，壓到另一容器中并釋放到大氣里去。它比蓋斯勒泵少兩個活栓，使用起來比較方便。與此同時，斯普倫格泵也得列發展。它的原理很特別。汞槽固定在高處,汞通過的皮管用鉗夾夾住.汞的流量受了限制，于是形成汞滴。汞滴夾帶空氣落下，使待抽容器的氣壓降低。這種泵的優點是免除了汞槽的反復升降，只需將收集到的汞液及時倒入汞槽就可以了。

這兩種泵在19世紀下半葉發揮了很大作用并得到不斷改進，成了當時物理實驗室必備的設備。19世紀末,20世紀初一系列重大的發現就是利用這些真空泵研究出來的。