真空機組是由主真空泵，前級真空泵、真空閥，除塵及干燥設備，連接導管等組成的用以獲得一定的真空度的設備。常用的有機械增壓泵機組，油增壓泵機組，油擴散泵機組等。

常用真空機組的組成

(一)機械增壓泵機組

這種機組由機械增壓泵作主泵，前級泵為容積式真空泵或大氣噴射泵及水環泵。一級羅茨泵和旋片真空泵串聯組成的機組，工作壓力范圍為133.3~1.33Pa，這種機組啟動快，抽速大，廣泛用于冶金，化工，輕工和醫藥等，一級羅茨泵和大氣噴射泵、水環泵、氣鎮式機械泵聯合工作的低真空機組原理圖，其中一級羅茨泵直接和大氣噴射泵及水環泵(極限真空為2666.4Pa)串聯使用，最低工作壓強可達266.6~399.9Pa，如果主泵為兩級羅茨泵時，工作壓強可達0.133Pa，當需要大量排除水蒸汽時，關閉閥門2,用水環泵做前級泵，當水蒸汽分壓降低到266.6~1333.3Pa后，關閉閥門1，打開閥門2,用氣鎮式機械泵做前級泵。