電爐真空系統主要參數有工作真空度，極限真空度、抽氣時間、漏氣率及抽氣速率等。

(一)工作真空度

真空電爐在工作期間需要保持的真空度，稱為工作真空度，其數值按熱處理工藝要求而定，在滿足工藝要求的前提下，盡量選擇較低的工作真空度。這樣可簡化真空系統，降低爐子造價，此外，對含Cr, Ni, Mn等易揮發的金屬與合金，在低真空下不易揮發，因而常常處理這類工件時，向爐內充入微量氣體，減少金屬元素的蒸發，通常通入的氣體有氮、氬等，使爐內壓力維持在200~26.6Pa下加熱，可得到兩全其美的效果。

(二)極限真空度

真空爐(空爐)所能達到的最高真空度稱為極限真空度。它是考核爐子各部件的加工、裝配好壞、真空機組抽氣能力與極限真空、爐子放氣、偏氣和真空衛生情況的重要指標。

(三)抽氣時間

抽氣時間是爐子從某一壓力開始抽到要求壓力所需的時間，在低真空、中真空區域的前段，抽氣時間可以簡化計算，近似機械泵預抽時間，其總抽氣時間包括機械泵的預抽時間再加上主泵(如羅茨泵或油擴散泵)從連接后到抽至某一要求壓力的時間，油擴散泵與油增壓泵的預熱時間不包括在抽氣時間內。

(四)漏氣率

漏氣率是真空爐制造質量中密封性能的檢驗指標，系指處于高壓或高濃度下的氣體在單位時間內通過漏孔流入低壓爐內的氣體量，由于漏氣率參數有一個體積單位，用起來不甚方便，因此推薦用壓升率作為檢驗真空爐漏氣的指標。