化工生產中，有許多單元操作需要在低于大氣壓下進行，真空泵就是獲得低于大氣壓強的一種機械。
往復式真空泵的構造與工作原理與往復式壓縮機相同，只是真空泵在低壓下操作，汽缸內外壓差很小，所用的活門必須更為輕巧，啟閉方便，它的閥片很薄，閥片彈簧也很小。另外，達到高真空度時，壓縮比很大，所以余隙必須很小。為了降低余隙的影響.在汽缸左右兩端設有平衡氣道�；钊艢怆A段終了，平衡氣道連通一很短時間，殘留于余隙中的氣體可以從活塞一側流到另一側，從而降低了余隙中氣體的壓強。其結構很簡單，只是在活塞終點時的汽缸部分加工出一個凹槽。
真空泵和壓縮機一樣，汽缸外壁用冷卻裝置，以除氣體在壓縮過程產生的熱量。
我國生產的往復式真空泵，系列代號為W。有W-1至W-5共五種規格，抽氣速率為60~770m3/h,它造成的絕壓可達0.1kPa或更低一些。
往復式真空泵是一種干式真空泵,操作時要防止抽吸氣體中帶有液體，以免發生設備損壞事故。往復式真空泵由于轉速低，排量不均勻，結構復雜，零件多，易于磨損等缺陷，近年來已逐漸被其他類型真空泵所代替。
