1.流速

真空泵流速越快，氣泡在很短的時間內從低壓部到達高壓部而破滅。

2.氣蝕系數

因氣泡的發生量小，所以損壞小。汽蝕發展使得整個試片為氣泡覆蓋。氣泡在遠離試片的位置破滅，因而損壞亦變小。

3.時間

真空泵在進行汽蝕損壞試驗時。其損壞的速率隨時間而變化。此變化一般可分為以下幾個時期:

(1)潛伏期-承量不變、表面粗糙度增加;

(2)加速期-損壞速度增加;

(3)減速期-損壞速度變為最大之后而減小;

(4)定常期-損壞速度一定。

4.溫度

不管那種材料，在溫度為40~50℃的范圍。其損壞最大。這是因為溫度增高.水中溶解的空氣量減少，氣泡的緩沖效果減小，所以溫度升高損壞增加。溫度進一步增高，蒸汽壓力急劇增大，氣泡大量生成，氣泡的緩沖效果增加，汽蝕損壞減小。

5.空氣含量

空氣含最多時。由于緩沖作用，其氣蝕損壞減輕。

除上述外，影響真空泵汽蝕損壞的因素還有：液體的性質(如汽化壓力、表面張力、粘性，密度等)，材料的機械性質，材料表面的粗糙度，尺寸效應等。