真空電子器件生產中應用的真空系統種類繁多。這里將根據真空系統的工作壓強范圍，介紹一些典型結構的常用的真空系統。

中、低真空系統是能獲得10-3托以下真空度的系統，以旋片泵或吸附泵等為主泵，配以真空閥門、捕集器及管道等連接而成。這樣組成的系統抽速一般較小，如要提高抽速可選用滑閥真空泵或羅茨泵機組。中、低真空系統結構簡單、排氣量大，主要用在各類電子管的預排，白熾燈與熒光燈的排氣，真空儲存柜和離子戮射鍍膜機等裝置中。

中、低真空系統的真空度可用火花檢測器或放電管指示器來估計，也可用熱傳導真空計來測量。為了提高系統的工作真空度，減少旋片泵油蒸氣和系統中水蒸氣對真空系統的影響，在三通玻璃活塞上，側接一只外冷式液氮冷阱。帶液氮冷阱的真空系統工作真空度可以達到10-3托左右。若該系統要反復暴露大氣，采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達到上述目的，不過活性氧化鋁要定期激活。