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      本站關鍵字:水環真空泵 水環式真空泵 旋片真空泵 旋片式真空泵

      常用真空系統在真空電子器件中的運用

      真空電子器件生產中應用的真空系統種類繁多。這里將根據真空系統的工作壓強范圍,介紹一些典型結構的常用的真空系統。

      中、低真空系統是能獲得10-3托以下真空度的系統,以旋片泵或吸附泵等為主泵,配以真空閥門、捕集器及管道等連接而成。這樣組成的系統抽速一般較小,如要提高抽速可選用滑閥真空泵或羅茨泵機組。中、低真空系統結構簡單、排氣量大,主要用在各類電子管的預排,白熾燈與熒光燈的排氣,真空儲存柜和離子戮射鍍膜機等裝置中。

      中、低真空系統的真空度可用火花檢測器或放電管指示器來估計,也可用熱傳導真空計來測量。為了提高系統的工作真空度,減少旋片泵油蒸氣和系統中水蒸氣對真空系統的影響,在三通玻璃活塞上,側接一只外冷式液氮冷阱。帶液氮冷阱的真空系統工作真空度可以達到10-3托左右。若該系統要反復暴露大氣,采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達到上述目的,不過活性氧化鋁要定期激活。


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