所謂常規真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝過程。這類真空裝置(設備)對真空衛生的要求是:

①凡是處于真空狀態或真空中的真空設備的零件或表面，都要求無積存的污染源。表面無塵埃、無鐵屑、無銹蝕。

②真空設備的真空室表面要光滑，無松軟組織和氣孔，無死空間，內焊縫無影響真空的缺陷。

③高真空設備中，真空室內的運動部件不得用機油作潤滑劑，要用飽和蒸氣壓低的擴散泵油、硅油作潤滑劑。法蘭、大門、觀察

窗的密封部位可涂以高真空油脂。

④無油超高真空系統(也稱“清潔的超高真空系統”)應避免油蒸氣影響工作介質的純度、表面特性或工作性能，為某種工藝過程

提供清潔的超高真空環境。

超高真空金屬系統常用1 Cr18Ni9Ti為結構材料。有些部位可使用無氧銅、可伐合金、純金、純銀、鎢、祖、鋁、欽等。絕緣材料

常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物由于可能分解出碳氫化合物污染系統，不能使用。飽和蒸氣壓較高的材料，如鋅及其合金

也不能使用。

超高真空系統中材料的出氣是限制真空度上升的重要因素。一方面采用清洗、拋光、把零部件放在真空柜中保存或真空預熱除氣

等方法降低出氣速率，以改善材料的原始處理情況。另一方面還可以采用真空系統高溫烘烤除氣的辦法，加速材料的出氣過程，

使材料表面吸附和吸收的氣體分子加速放出并被排出，冷卻后材料的出氣速率會降低幾個數量級。因此，對于一般需要達到10-

7Pa以下壓力的真空系統，都必須烘烤除氣。

⑤真空設備一般應在溫度為15℃-30℃，相對濕度不高于70%的清潔的空氣流通的環境中工作，冷卻水進水溫度不高于250℃。

真空設備所在的實驗室或車間應保持清潔衛生。地面為水磨石或木質涂漆地面、無塵埃。為防止機械泵工作時排出的氣體對實驗

室環境的污染，可采用在泵的排氣口上面裝設排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法，將氣體排出室外。